■ 반도체용 블랭크 마스크

구 성
Specification
기 판
크 기
6 x 6 x 0.25 inch
투과율

Not less than 85 % @ 200 nm

Not less than 90 % @ 230~260nm

금 속 막
두 께
660 ~ 1000 Å
광학밀도
2.9 ~ 3.0 @ 노광파장
반사율
20 % 이하 @ 노광파장
결 함
0.5 ㎛ 이상 Free
레지스트
E-beam용 레지스트
두 께
3000 ~ 4000 Å
Optic용 레지스트
두 께

4650 Å

 

■ FPD용 블랭크 마스크

구 성
Specification
기 판
크 기
330 x 450 x 6 mm ~ 1220 x 1400 x 13 mm
투과율

Not less than 85 % @ 200 nm

Not less than 90 % @ 230 ~ 260nm

금 속 막
두 께
1100 ± 50
광학밀도
3.0 이상 @ 노광파장
반사율
20 % 이하 @ 노광파장
결 함
30 이상 Free
레지스트
두 께
10000