사업분야 및 R&D
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| 설립일 | 2003년 1월 9일 |
|---|---|
| 연구소장 | 김용대 |
| 연구원 | 62명 (총 인원의 22%) |
| 연구 실적 (최근 3년간) | - 공동기술/개발실적: 17건 (공정 및 신제품 개발) - 개발 : 삼성전자, Sk하이닉스, SDC, PCL 등 |
| R&D Network | - 한양대, 포항공대, 경북대, 부산대, 영남대, DIGIST, UNIST 등 - 연구기관 : ETRI, NPAC, 나노팹, 포항가속기연구소 등 |
| 주요현황 |
- 강소기업 100선정 (중소벤처기업부) - 중소기업대상 (대구시) - 청년친화 강소기업 지정 (고용노동부) - 첨단기술기업 지정 (미래창조과학부) - 첨단기술제품 인증 (산업통상자원부) - 월드클래스 300 선정 - 월드스타기업 선정 (대구시) - 대한민국 10대 신기술상 수사 - 우수기술제조연구센터(ATC) 지정 - 세계일류상품 및 생산기업 인증 |
국내 출원 241
국내 등록 104
해외 출원 99
해외 등록 107
반도체용 블랭크 마스크
본 연구소는 바이너리 블랭크 마스크뿐만 아니라, 최첨단의 위상반전 블랭크 마스크, 하드마스크용 블랭크 마스크에 대한 연구를 진행하고 있습니다.
주요 연구 내용
- 바이너리 블랭크 마스크
- KrF, ArF 위상반전 블랭크 마스크
- 하드마스크용 블랭크 마스크
- 극자외선용 블랭크 마스크
- 나노임프린트용 블랭크 마스크
디스플레이용 블랭크 마스크
디스플레이 분야에서 10G 대면적 블랭크 마스크부터 TM, PSM 블랭크 마스크등 차세대 디스플레이용 블랭크 마스크에 대한 연구를 진행하고 있습니다.
주요 연구 내용
- 바이너리 블랭크 마스크
- 투과변조 블랭크 마스크
- 위상반전 블랭크 마스크
- 다중 투과율 변조 블랭크 마스크