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¿¡½º¾Ø¿¡½ºÅØ È¨ÆäÀÌÁö¸¦ ¹æ¹®ÇØ ÁֽŠ¿©·¯ºÐ ¹Ý°©½À´Ï´Ù.
¿¡½º¾Ø¿¡½ºÅØÀº ¹ÝµµÃ¼¿Í µð½ºÇ÷¹ÀÌ Á¦ÀÛ °øÁ¤ Áß¿¡ ÇÙ½É ¿øÀç·áÀÎ ºí·©Å©¸¶½ºÅ©¸¦ ÃÖÃÊ·Î °³¹ß »ý»êÇϱâ À§ÇØ 2001³â¿¡ ¼³¸³µÈ ȸ»çÀÔ´Ï´Ù.
¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ °øÁ¤ÀÇ ¹Ì¼¼È¿Í °íµµÈ Ãß¼¼¿¡ µû¶ó ºí·©Å©¸¶½ºÅ©ÀÇ Á߿伺ÀÌ ´õ¿í ºÎ°¢µÇ¾ú°í, À̸¦ ¼±µµÇϱâ À§ÇØ ¿ì¸®´Â °ú°¨ÇÑ R&D ÅõÀÚ, ƯÇã Ãâ¿ø, µî·Ï µîÀ¸·Î °íºÎ°¡°¡Ä¡ Á¦Ç° °³¹ß¿¡ ÁýÁßÇØ¿Ô½À´Ï´Ù. ±× °á°ú, ¿¡½º¾Ø¿¡½ºÅØÀº ÀÌÁ¦ ¼¼°è ÃÖ°í ¼öÁØÀÇ ºí·©Å©¸¶½ºÅ©¸¦ »ý»êÇÏ´Â ±Û·Î¹ú ´ëÇ¥ ±â¾÷À¸·Î ÀÚ¸®¸Å±èÇß½À´Ï´Ù.
ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼°øÁ¤¿¡ ÀÖ¾î ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤°øÁ¤Àº ±â¼ú ¹ßÀüÀÇ ÇÙ½ÉÀ¸·Î ºÎ»óÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ¿¡ µû¶ó ¿¡½º¾Ø¿¡½ºÅØÀº EUV °øÁ¤ ¼ÒÀç ºÐ¾ß¿¡¼ÀÇ ±â¼ú ¸®´õ½Ê È®º¸¸¦ ¸ñÇ¥·Î ¿¬±¸°³¹ß ¿ª·®À» ÁýÁßÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ¹Ì·¡¸¦ À̲ô´Â ȹ±âÀûÀÎ ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦½ÃÇϱâ À§ÇØ ³ë·ÂÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ƯÈ÷ EUV Àü¿ë Blankmask, Pellicle °³¹ßÀ» ÅëÇØ ¹Ì¼¼°øÁ¤ ³À̵µ¸¦ ±Øº¹ÇÏ°í °í°´»çÀÇ ±â¼ú °æÀï·ÂÀ» ³ôÀ̴µ¥ ±â¿©ÇÏ°íÀÚ ÇÕ´Ï´Ù.
¾ÕÀ¸·Îµµ ¿¡½º¾Ø¿¡½ºÅØÀº Áö±Ý±îÁöÀÇ ¼º°ú¿¡ ¾ÈÁÖÇÏÁö ¾Ê°í, ±¹°¡ Àü·« ±â¼úÀÇ ¹ßÀü¿¡ ±â¿©ÇÏ´Â °ÍÀº ¹°·Ð, Àü ¼¼°èÀûÀ¸·Î ´Ù¾çÇÑ °í°´°ú ½ÃÀåÀÇ ¿ä±¸¿¡ ºÎÀÀÇÏ´Â Çõ½ÅÀûÀÎ ±â¾÷ÀÌ µÇ±â À§ÇØ ÃÖ¼±À» ´ÙÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.
»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó, °í°´, Çù·Â»ç, Áö¿ª»çȸ¿Í ÇÔ²² ¼ºÀåÇÏ°í ¹ßÀüÇϸç ȯ°æÀû¤ý»çȸÀû¤ýÀ±¸®Àû Ã¥ÀÓÀ» ´ÙÇÏ´Â Áö¼Ó °¡´ÉÇÑ °æ¿µÀ» ½ÇÇöÇØ ³ª°¡°Ú½À´Ï´Ù.
»ó»ý°ú µµÀüÀ¸·Î ´õ Å« ¹Ì·¡¸¦ ¿¾î°¡´Â ¿¡½º¾Ø¿¡½ºÅØÀÇ ¿©Á¤¿¡ ¿©·¯ºÐÀÇ µû¶æÇÑ °ü½É°ú ÀÀ¿øÀ» ºÎŹµå¸³´Ï´Ù.
°¨»çÇÕ´Ï´Ù.
ȸ»ç¸í | (ÁÖ)¿¡½º¾Ø¿¡½ºÅØ |
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´ëÇ¥ÀÌ»ç | Á¤¼öÈ« |
¼³¸³ÀÏ | 2001³â 2¿ù 22ÀÏ |
»óÀåÀÏ | 2009³â 4¿ù 14ÀÏ |
ÀÓÁ÷¿ø¼ö | 310¸í |
ÁÖ¿ä»ç¾÷ | ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë ºí·©Å© ¸¶½ºÅ© |
ÀÎÁõÇöȲ | ±¹°¡Àü·«±â¼ú, ÷´Ü±â¼ú±â¾÷, ¼ÒÀçºÎºÐ °¼Ò±â¾÷ 100, ´ëÇѹα¹ 10´ë ½Å±â¼ú, ¿ì¼öÁ¦Á¶±â¼ú¿¬±¸¼¾ÅÍ, ¿ùµåŬ·¡½º 300 |